Pertama, pompa putar digunakan untuk memompa sistem ke 10-2 Pa. Oli pompa difusi dipanaskan dan direbus, dan molekul gas dalam sistem terus menerus dibawa ke bola samping lengan siku pompa dengan kecepatan tinggi dari yang dikeluarkan aliran uap minyak. Rentang kerja pompa vakum mekanis tercapai dan ditarik, sehingga secara bertahap memperoleh vakum tinggi.
Pompa vakum adalah alat atau perangkat yang menggunakan metode mekanis, fisik, kimia, atau fisikokimia untuk mengevakuasi wadah yang dipompa untuk mendapatkan ruang hampa udara. Pompa vakum adalah perangkat yang meningkatkan, membuat, dan memelihara ruang hampa udara dalam ruang tertutup dengan berbagai cara. Bahkan, sesuai dengan prinsip operasi pompa vakum, pompa vakum pada dasarnya dapat dibagi menjadi pompa perangkap gas dan pompa transfer gas. Aplikasi pompa vakum meliputi daya, petrokimia, farmasi, kertas, lingkungan, metalurgi, makanan, minuman, pelapis elektronik, dan industri lainnya.
